ナノポジショニング・ステージ

 

 

‘クイーンズゲイトのナノポジショニングステージは、お客様のご用途や目的に合わせた、オーダーメイドのソリューションを提供します。

ピエゾステージの材質は、クローズドループ、オープンループとも、データシートに記されています。オプションの材質としては、スーパーインバー、ステンレススチール、チタニウム、アルミニウムをご用意しております。その他、真空対応、放射線対応、高温対応など、ご要望に応じてカスタマイズも承っております。

XYの他、Z、チルト、回転などの選択肢があり、単体だけでなく、これらを組み合わせてご利用いただくことも可能です。 クイーンズゲイトのナノポジショニング・ステージは、高精度なピエゾ駆動方式を採用しております。これにクイーンズゲイトの静電容量式センサーをフィードバック用に合わせてお使いいただくことで、更に精度と再現性の高いシステム構築にお役に立ちます。クローズドループ用デジタル・コントローラーは、完全なプラグアンドプレイを実現しており、既に導入済みのピエゾシステム用のコントローラの置き換えも可能な、互換性も有しております。