ナノポジショニング・センサー

 

 

‘クイーンズゲイトのナノポジショニング・センサー　ー　ナノセンサーは、静電容量方式を採用した驚異的な感度の非接触位置測定システムです。最大1.25ｍｍの動作範囲で、ピコメートル単位の分解能で測定が可能です。2つのセンサープレート（ターゲットとプローブ）間の静電容量を計測する方式を採用しています。

NXシリーズは金属製で、多くの場合、アルミニウムかスーパーインバーのいずれかが使われています。お客様のご用途に合わせ、他の代替金属もご利用になれます。詳細はクイーンズゲートにご相談下さい。